|
つづきまして、
量子細線を上部から眺めた、いわゆる「Top-View」
を観察することで、細線の一様性とキャリアの流れ込み
について評価いたしましたので報告します。
こちらの3つのイメージは、それぞれリッジ構造の Top-Viewを観察したもので、横軸のx-軸方向が キャリアの流れる細線一次元方向を、 図と垂直のz-軸方向は結晶成長の積層方向を あらわしています。 一番上のイメージはSEMイメージ、 二番目のイメージは光学顕微鏡で測定しました 0.3ミクロンの空間分解能をもった反射像イメージです。 反射像は、主に空気とリッジ表面の屈折率の違いによる レーザー光の反射を利用して計測しています。 上部2つのイメージから、少なくとも0.3ミクロンのオーダー においては、リッジ構造は一様に形成されていることが わかります。 |
|